Elettronica di semicondiducatore
A produzzione di i chips di Circuit integrati richiede l'equipaggiu altamente specializatu chì ponu travaglià in ambienti di parechje dure, cum'è:
● plasma in un ambiente vacu;
● temperatura alta;
● Cuntattate cù liquidu altamente abrasivu;
● Esposizione à parechji sustanzi chimichi altamente corrosivi.
UVANTU
● Riproduzione esatta di materiale dispunibule in ogni locu di u mondu
● Selezzione materiale più estensiva, supportu di l'ingegneria è e capacità di prova
● Capacità di Machining, Sustenimentu di u Sviluppu di Applicazione NPI di u sistema di simulazione
● Portfolio più largu di materiali pensati per i strumenti di u prucessu umidi
● U fabricatore mundiale di i Materiali di Ring CMP
● Materiali utilizati in i strumenti di u prucessu seccu cum'è etch, implantazione CVD è ION per riduce u costu è migliurà u rendimentu
Materiali cumuni
Acetal
Anti-statiche, dissipativa statica, è plastica construvay
Cpvc
Fep
U tubu fluoropolim
Friciodilene
Ecctfe
Pvdf
Nylon
Pulizza
Pet
PFA
Cinema di polimiu
PC
Polypropilene
PSU
PPS
Pttfe
Pei
EPOXIA
Tela di cuttuni penolichi
DUROTHTINE
Fr4 / G10
Bakellite
Forza materiale
Ø Gradi dissipativi statichi
Ø resistenza chimica
Ø Generazione di particella bassa in i candidati
Ø Caratteristiche bassa Outgassing
Ø Livelli bassi d'estratti quandu pusonu chimichi di purità alta
Ø Capabbia di temperatura alta
Ø una stabilità dimensionale
Applicazioni tipiche
Cuscinetti è bushings
Tank chimichi
Isulatori elettrici
Tubing flessibile
Guardii è scudi
Anelli puliti
Spin chucks
Applicazioni Statiche di Control
Cacciatori Test
Valvalli cumpunenti
Parti di manipulazione di wafer
Lecche di Bet è stazioni di travagliu
Prudutti è Applicazioni
Pruduttu | Applicazione |
Techtron®pps | Ring Cmp |
Semitron®cmp xl20 | A Camera di Reazione di Incisione è CVD |
Ketron®1000 Peteek | Trasferimentu wafer |
Erertaliste®pet-p | Struttura umida di prucessu |
Duratron®pai | Componenti di u Processu Bagnatu, HP Chemical and Water Container Kiners Container |